阿斯麥“壟斷”EUV光刻機(jī)

光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的核心設(shè)備之一，阿斯麥則是這個(gè)行業(yè)內(nèi)的領(lǐng)軍企業(yè)。美國(guó)數(shù)據(jù)分析機(jī)構(gòu)TIN的數(shù)據(jù)顯示，2017年阿斯麥的市場(chǎng)營(yíng)收份額占比為87.4%，高出第二名尼康75.1個(gè)百分點(diǎn)（10.3%）。

而在EUV光刻機(jī)上，阿斯麥更是處于“壟斷”地位——這家公司是全球唯一能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的企業(yè)。作為現(xiàn)今最先進(jìn)的芯片制造設(shè)備，EUV光刻機(jī)是唯一能夠制造7納米以下制程的設(shè)備，因此也被稱為“突破摩爾定律的救星”。

目前，三星和臺(tái)積電正在競(jìng)爭(zhēng)生產(chǎn)7納米工藝技術(shù)芯片，這兩家公司都訂購(gòu)了阿斯麥的EUV光刻機(jī)。而在2017年3月，中芯國(guó)際也宣布將進(jìn)軍7納米工藝技術(shù)的研發(fā)。

去年5月，中芯國(guó)際首席執(zhí)行官趙海軍在一次電話會(huì)議上稱，2018年公司將資本支出從19億美元上調(diào)至23億美元，用于先進(jìn)制程的研發(fā)、設(shè)備開支以及擴(kuò)充產(chǎn)能。

同月，《日經(jīng)亞洲評(píng)論》曝料稱，中芯國(guó)際已向阿斯麥購(gòu)了一臺(tái)最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，將于2019年年初交貨。為此，中芯國(guó)際耗資1.2億美元，這相當(dāng)于其2017年的凈利潤(rùn)（1.264億美元）。

上述媒體當(dāng)時(shí)表示，雖然中芯國(guó)際的技術(shù)落后三星、臺(tái)積電兩到三代，并且現(xiàn)在還在28納米和14納米制程上掙扎，但是中芯國(guó)際購(gòu)買第一臺(tái)EUV光刻機(jī)的舉動(dòng)，凸顯了其提升中國(guó)自主半導(dǎo)體制造的決心。

中芯國(guó)際員工在上海晶圓廠

《瓦森納協(xié)定》阻礙中國(guó)高科技國(guó)際合作

本文開頭提到的《瓦森納協(xié)定》，全稱《關(guān)于常規(guī)武器和兩用物品及技術(shù)出口控制的瓦森納安排》，是世界主要的工業(yè)設(shè)備和武器制造國(guó)在巴黎統(tǒng)籌委員會(huì)解散后，于1996年成立的一個(gè)旨在控制常規(guī)武器和高新技術(shù)貿(mào)易的國(guó)際性組織。

《瓦森納協(xié)定》擁有33個(gè)成員國(guó)，中國(guó)不在其列，其主要目的是阻止關(guān)鍵技術(shù)和元器件流失到成員國(guó)之外。

值得注意的是，該協(xié)定雖然允許成員國(guó)在自愿的基礎(chǔ)上對(duì)各自的技術(shù)出口實(shí)施控制，但實(shí)際上，成員國(guó)在重要的技術(shù)出口決策上受到美國(guó)的影響。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，受限于該協(xié)定，在芯片設(shè)計(jì)、生產(chǎn)等方面，中國(guó)一直不能獲取到國(guó)外的最新科技。

不過(guò)，在《日經(jīng)亞洲評(píng)論》曝出上述消息后，阿斯麥發(fā)言人回應(yīng)表示，對(duì)包括中國(guó)客戶在內(nèi)的全球客戶都一視同仁，且向中國(guó)出售EUV光刻機(jī)并沒(méi)有違反《瓦森納協(xié)定》。

近年來(lái)，阿斯麥和中國(guó)市場(chǎng)互動(dòng)頻繁，除了中芯國(guó)際外，其客戶還有華虹半導(dǎo)體、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫、英特爾大連廠、SK海力士西安廠、福建晉華等。在2018年上半年，中國(guó)市場(chǎng)已占阿斯麥營(yíng)收約20%。

2018年5月，阿斯麥出售給長(zhǎng)江存儲(chǔ)的光刻設(shè)備運(yùn)達(dá)武漢

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