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工信部推廣國產(chǎn)氟化氬光刻機(jī):分辨率≤65nm
最后更新: 2024-09-14 23:06:26據(jù)微信公眾號“工信微報”消息,近日,工信部發(fā)布了《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2024年版)》。
“工信微報”介紹道,重大技術(shù)裝備是國之重器,事關(guān)綜合國力和國家安全。中國首臺(套)重大技術(shù)裝備是指國內(nèi)實現(xiàn)重大技術(shù)突破、擁有知識產(chǎn)權(quán)、尚未取得明顯市場業(yè)績的裝備產(chǎn)品,包括整機(jī)設(shè)備、核心系統(tǒng)和關(guān)鍵零部件等。
而觀察者網(wǎng)注意到,在《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2024年版)》電子專用裝備目錄下,集成電路設(shè)備方面:氟化氬光刻機(jī),光源193納米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。
工信部網(wǎng)站
標(biāo)簽 半導(dǎo)體- 責(zé)任編輯: 戴佳源 
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