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EUV光刻機交付延遲，三星3nm量產(chǎn)推遲一年
- 一鳴搞火箭的未必都是火箭專家，可能是電焊工。
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2020-04-07 16:12:41 字號：A- A A+ 來源：觀察者網(wǎng)

（文/觀察者網(wǎng) 一鳴）4月6日，DigiTimes報道稱，三星3nm工藝量產(chǎn)時間可能已經(jīng)延期至2022年。

據(jù)報道，三星原計劃在2021年初量產(chǎn)3nm，但新冠疫情蔓延，使得這一計劃不得不延期一年。報道援引人士指出，這并非工藝制造上的延遲，而是因為極紫外EUV光刻機等關(guān)鍵設(shè)備在物流上出現(xiàn)了問題。

上述媒體指出，當前疫情對物流和交通運輸服務(wù)造成了影響，導(dǎo)致3nm工藝所需的EUV光刻機和其他關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備的交付延期，進而導(dǎo)致了量產(chǎn)的時間推遲。

三星早在去年就宣布將在3nm節(jié)點放棄鰭式場效晶體管（FinFET），轉(zhuǎn)向環(huán)繞柵極晶體管（GAAFET）工藝，3nm GAE工藝號稱可將核心面積減少45%，功耗降低50%，性能提升35%。

推遲3nm工藝生產(chǎn)的還不止三星一家，三星最大對手臺積電也因為疫情的影響，導(dǎo)致半導(dǎo)體設(shè)備安裝無法按期完成，使得原計劃在今年6月份風險試產(chǎn)的3nm FinFET工藝，推遲到了10月。

而相對應(yīng)的，臺積電南科18廠的3nm生產(chǎn)線的完工也將順延一個季度，這也讓原本10月份安裝設(shè)備的計劃推遲到了2021年初。

作為目前全球最先進EUV光刻機的唯一供應(yīng)商，荷蘭阿斯麥爾（ASML）此前下調(diào)了今年一季度的業(yè)績預(yù)期，由2019年第四季度及全年的業(yè)績報告中預(yù)計的31億歐元到33億歐元之間，下調(diào)到了23億歐元至24億歐元之間。

阿斯麥爾稱，調(diào)整今年一季度的業(yè)績預(yù)期，主要還是受當前疫情的影響，影響主要體現(xiàn)在三個方面。一是部分光刻機的出貨延遲，導(dǎo)致相應(yīng)收入確認延遲；二是供應(yīng)鏈在一季度出現(xiàn)了問題、三是部分廠商對他們的交付能力存在擔憂，為了加快交付進度，部分廠商甚至要求他們在完成正常的工廠驗收之前就交付。

雖然下調(diào)了一季度的營收預(yù)期，但阿斯麥爾的總裁兼CEO彼得·溫寧克（Peter Wennink）表示，當前疫情對他們制造能力造成的影響還比較有限，到目前為止，他們還沒有看到今年光刻機需求下滑的跡象。

三星和臺積電都訂購了阿斯麥爾的EUV光刻機。2018年5月，中芯國際也向荷蘭阿斯麥爾（ASML）訂購了一臺最新型的EUV光刻機，價值高達1.5億美元，原計劃在2019年初交付。

不過，由于美國方面阻擾，這項交易至今仍未完成。

本文系觀察者網(wǎng)獨家稿件，未經(jīng)授權(quán)，不得轉(zhuǎn)載。
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