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我國首臺國產(chǎn)場發(fā)射透射電鏡發(fā)布!將為半導(dǎo)體工業(yè)等提供有力支撐
分享到:最后更新: 2024-01-20 11:48:52由生物島實驗室領(lǐng)銜研制,擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的首臺國產(chǎn)場發(fā)射透射電子顯微鏡于20日在廣州發(fā)布。這標(biāo)志著我國已掌握透射電鏡用的場發(fā)射電子槍等核心技術(shù),并具備量產(chǎn)透射電鏡整機產(chǎn)品的能力,將為我國在材料科學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)等前沿科學(xué)及工業(yè)領(lǐng)域的高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。
中國科學(xué)院院士、生物島實驗室主任徐濤聯(lián)合中國科學(xué)院生物物理研究所研究員孫飛在2016年啟動透射電鏡有關(guān)研究,并于2020年在生物島實驗室組建起一支體系完整的透射電鏡研制工程技術(shù)團(tuán)隊。團(tuán)隊成立三年多以來,相關(guān)研發(fā)工作接連取得重大突破。
研發(fā)團(tuán)隊介紹,此次推出的首款場發(fā)射透射電鏡新品TH-F120,取名源自中華名山“太行”,寓意它將如太行山一樣成為中國透射電鏡產(chǎn)業(yè)的脊梁。該場發(fā)射透射電鏡利用被加速到120千電子伏特的高能電子與被觀測樣品中的原子發(fā)生相互作用,檢測透射電子攜帶的樣品信號轉(zhuǎn)化為顯微放大的圖像,可以用來觀察材料樣品中的原子排列結(jié)構(gòu)、細(xì)胞組織樣品的精細(xì)超微結(jié)構(gòu)、病毒和生物大分子復(fù)合體的精細(xì)結(jié)構(gòu),是科學(xué)家研究微觀世界的重要儀器。
研發(fā)團(tuán)隊表示,該電鏡擁有自主研制的高亮度場發(fā)射電子槍,相比于同級進(jìn)口產(chǎn)品的熱發(fā)射電子槍,亮度更高,發(fā)射穩(wěn)定性和相干性更優(yōu),匹配自主研制的電磁透鏡系統(tǒng),針對120kV成像平臺特別優(yōu)化電子光學(xué)設(shè)計,可帶來更佳的圖像襯度和分辨率。
生物島實驗室是廣東省首批省實驗室之一。自成立至今,生物島實驗室優(yōu)化整合力量,加快成果轉(zhuǎn)化、產(chǎn)業(yè)孵化和創(chuàng)新體系建設(shè),不斷培養(yǎng)高價值專利,與本地頭部企業(yè)共建聯(lián)合實驗室、技術(shù)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化中心,累計孵化企業(yè)12家。
(記者馬曉澄)
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