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華虹12寸晶圓廠裝備大陸最先進沉浸式光刻機：邁向14nm

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2018-05-21 15:18:41 字號：A- A A+ 來源：驅(qū)動之家

關(guān)鍵字: 中國芯片中國科技

驅(qū)動之家5月21日消息，中芯國際花了1.2億美元從荷蘭ASML（阿斯麥）買來一臺EUV極紫外光刻機，未來可用于生產(chǎn)7nm工藝芯片，長江存儲也迎來了自己的第一臺光刻機，同樣來自ASML，不過是193nm沉浸式，用于產(chǎn)20-14nm工藝的3D NAND閃存晶圓，7200萬美元一臺。

本文圖片來自“驅(qū)動之家”

據(jù)集微網(wǎng)報道， 5月21日上午，在上海浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū)，華虹集團旗下上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營運的12英寸先進生產(chǎn)線建設(shè)項目（“華虹六廠”）實現(xiàn)首臺工藝設(shè)備光刻機搬入。

這臺光刻機的型號是NXT 1980Di，依然是荷蘭ASML提供，后者官方顯示，這是一臺193nm雙級沉浸式光刻機，用于10nm級（14~20nm）晶圓生產(chǎn)，它也是大陸裝備的最先進的沉浸式光刻設(shè)備。

華力微電子官網(wǎng)資料顯示，華虹六廠是該司的第二個12英寸晶圓生產(chǎn)線，設(shè)計月產(chǎn)能4萬片，工藝技術(shù)從28nm起步，最終將具備14nm三圍工藝的高性能芯片生產(chǎn)能力。

另外，根據(jù)賽迪顧問的統(tǒng)計，按照銷售額，上海華虹位列2017年國內(nèi)十大集成電路制造企業(yè)第五位。
標簽科技創(chuàng)新中國科技
- 原標題：華虹12寸晶圓廠裝備大陸最先進沉浸式光刻機：邁向14nm
- 責任編輯:呂棟
- 最后更新: 2018-05-21 18:48:55
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