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國產(chǎn)光刻機工廠落地雄安？中國電子院澄清：這是北京高能同步輻射光源

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2023-09-18 19:01:27 字號：A- A A+ 來源：觀察者網(wǎng)

近期，各大視頻平臺瘋傳一條消息稱清華大學(xué)EUV項目把ASML的光刻機巨大化，實現(xiàn)了光刻機國產(chǎn)化，并表示這個項目已經(jīng)在雄安新區(qū)落地。還在視頻中配了這樣一張圖，表示圖片中的項目就是光刻廠。對此，微信公眾號“中國電子院”9月18日發(fā)布信息辟謠稱，該項目并非網(wǎng)傳的國產(chǎn)光刻機工廠，而是北京高能同步輻射光源項目（HEPS）。

網(wǎng)絡(luò)上流傳的圖片本文圖片均轉(zhuǎn)自微信公眾號“中國電子院”（下同）

中國電子院介紹道，HEPS坐落于北京懷柔雁棲湖畔，是國家“十三五”重大科技基礎(chǔ)設(shè)施。它是我國第一臺高能量同步輻射光源，也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一，早在2019年就開始建設(shè)，將于2025年底投入使用。

北京高能同步輻射光源項目實拍圖

HEPS的作用是通過加速器將電子束加速到6GeV，然后注入周長1360米的儲存環(huán)，用接近光速的速度保持運轉(zhuǎn)。

電子束在儲存環(huán)的不同位置通過彎轉(zhuǎn)磁鐵或者各種插入件時，就會沿著偏轉(zhuǎn)軌道切線的方向釋放出穩(wěn)定、高能量、高亮度的光，也就是同步輻射光。

簡單的說，HEPS可以看成是一個超精密、超高速、具有強大穿透力的巨型X光機。它產(chǎn)生的小光束可以穿透物質(zhì)、深入內(nèi)部進(jìn)行立體掃描，從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界。因此HEPS是進(jìn)行科學(xué)實驗的大科學(xué)裝置，并不是網(wǎng)傳的光刻機工廠。

該項目由全國勘察設(shè)計大師、國投集團首席科學(xué)家婁宇帶隊，中國電子院多個技術(shù)科研和設(shè)計團隊協(xié)同合作。

從項目可研立項到項目落地，中國電子院攻克了多項技術(shù)和工藝難關(guān)，解決了項目不均勻沉降、微振動控制、超長結(jié)構(gòu)設(shè)計、光伏板設(shè)計、精密溫度控制、工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、超復(fù)雜工藝系統(tǒng)等七大技術(shù)難題，實現(xiàn)了重大技術(shù)突破，指標(biāo)控制達(dá)到了國際先進(jìn)水平。

目前高能同步輻射光源配套工程已全面完工，向產(chǎn)生世界最“亮”的光又更近了一步。
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