不過如果真要下定決心開發(fā)6.X納米光源，其驅(qū)動激光、靶材、收集鏡這三大關(guān)鍵技術(shù)都需要依賴我國所事實壟斷的稀土材料。

就拿上文提到的BAT激光器為例，其正是以摻銩氟化釔鋰 (Tm:YLF) 晶體作為增益介質(zhì)，具有高激光損傷閾值、大發(fā)射截面和寬調(diào)諧范圍等獨特性能。此外，相較于現(xiàn)有的二氧化碳激光器，摻釔鋰氟化物 (YLF) 和摻釔鋁石榴石 (YAG) 等激光晶體工作波長還更有利于拉升光源轉(zhuǎn)換效率。

從靶材上看， 鋱和釓取代錫靶，也是目前BEUV研究的熱點。

根據(jù)今年2月份發(fā)表于《光學(xué)快報》（Optics Express）的上光所、長光所、長春理工大學(xué)團隊聯(lián)合研究成果，在現(xiàn)有的平面靶雙激光脈沖方案基礎(chǔ)上，研究人員通過腔體結(jié)構(gòu)調(diào)控預(yù)形成等離子體的膨脹，進一步優(yōu)化了釓基BEUV光源 (Gd-LPP) 的光譜性能。實驗數(shù)據(jù)表明，腔體約束靶保留了傳統(tǒng)平面靶雙脈沖方案的優(yōu)勢，同時提高了光譜純度，最高光譜純度可達4.35%。

至于收集鏡和BEUV光學(xué)系統(tǒng)反射鏡，同樣需要從傳統(tǒng)鉬/硅多層鏡升級到基于鑭系稀土元素的La/B4C多層鏡。

從這樣的極簡梳理不難看出，有效控制相關(guān)稀土資源外流，將會對我國光刻機產(chǎn)業(yè)在BEUV階段的后來居上奠定良好基礎(chǔ)。

這就像是一場馬拉松比賽，盡管對手看似“遙遙領(lǐng)先”，但最后10公里的賽道，我們卻控制著前導(dǎo)車的速度和方向。

當然，要讓稀土管制這張王牌真正發(fā)揮效力，絕不是一紙公告就能完成，政策落地需要破解的挑戰(zhàn)同樣不少。

首先是行業(yè)自律問題。由于國內(nèi)稀土產(chǎn)量往往大幅超出國內(nèi)需求量，各類稀土元素每年產(chǎn)量中絕大部分，最終以原料或產(chǎn)品的形式輸出海外市場，因此當出口管制生效后，不少稀土企業(yè)經(jīng)營者盡管對于國家戰(zhàn)略考量心知肚明，但仍然難免遭遇“人性的考驗”。面對國際市場的巨大牟利空間，走私?jīng)_動恐怕難以遏制，鎵、鍺、銻出口管制后曝出的一些案件已是明證。

其次是監(jiān)管難度大。稀土元素可以通過多種形式出口，除了直接出口原材料外，還可以通過出口半成品或成品間接流出。這就像是想堵住一個篩子里的水，總有漏洞可鉆。管制措施如何做到既不過度限制正常貿(mào)易，又能有效防止戰(zhàn)略資源外流，需要監(jiān)管部門下足“繡花功夫”。

再者是國際壓力。西方國家對此次管制措施必然強烈反應(yīng)，甚至可能以“違反WTO規(guī)則”為由提起訴訟，或采取額外報復(fù)措施。這種情況下，如何不被外部壓力所動搖，需要智慧與定力。

最后，則是產(chǎn)業(yè)網(wǎng)絡(luò)協(xié)同。單純依靠資源管制并不能從根本上解決技術(shù)追趕問題，必須同步推進下游應(yīng)用研發(fā)，尤其是BEUV光刻核心技術(shù)攻關(guān)。否則，即使握有稀土資源的天然優(yōu)勢，也難以轉(zhuǎn)化為真正的產(chǎn)業(yè)競爭力。

這不是一場短跑，而是一場持久戰(zhàn)，只有將稀土資源優(yōu)勢與技術(shù)創(chuàng)新緊密結(jié)合，才能在未來的極限技術(shù)競爭中摘取勝利果實。

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